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Cluster Chamber真空設備系統

Cluster Chamber真空設備系統 Cluster-01

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集成多個薄膜工藝的真空設備系統,通過控制室的機械手實現基板傳輸。該設備系統適合光電材料和器件,先端存儲器器件,和半導體材料等研究。

???超高真空(10^-8Pa)字

???國內獨有系統集成技術系統內

???實現多種薄膜工藝和多層薄膜生長

Cluster

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