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真空泵

真空泵

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油旋片式真空泵
特 性 應 用
? 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋;
? 可在大氣壓下實現操作運行;
? 可實現高極限真空;
? 低振動低噪音;
? 維護周期可通過計時表控制;
? 分析設備;
? 氣體回收系統;
? 涂料設備;
? TMP 前級泵;
? 氦滲漏探測器;
? 半導體制造工藝;
規格參數
單位 50Hz 60Hz
實際抽速
L/min 30 36
極限壓力
Pa 0.67
馬達
單相, 100-120V ,100W , 2 poles, 電容式
滿載電流
A 1.85 (100V)
1.80 (110V)
1.89 (100V)
1.71 (120V)
油量
mL 370
推薦用油
R-2
重量
kg 9.3
進氣口直徑
mm KF-16
環境溫度
°C 7 – 40
尺寸
mm 120(W) x 288.5(L) x 163(H)
渦旋干式真空泵/雙繞式
特 性 應 用
? 大范圍電壓馬達 取得CE,cTUVus 認證;
? 磁性聯軸器實現軸封無油滲漏,使用壽命增長;
? 可防止逆流;
? 氦檢漏儀;
? 分析儀器。(GC/MS、ICP/MS、LC/MS);
? 實驗室;
規格參數
單位 50Hz 60Hz
實際抽速
L/min 30 36
極限壓力
Pa 5.0
馬達
單相, 100-120V ,100W ,
2 poles, 電容式
滿載電流
A 2.6/1.3/
1.6(100/
200/230V)
2.1/2.2/
1.1/1.1(
100/115/
200/230V)
油量
kg 14.0
重量
R-2
進出氣管道直徑
kg 進氣管 KF-25?出氣管 KF-16
環境溫度
°C 5 – 40
水蒸氣處理
g/天 ≤5 (A.F. 開啟)
尺寸
mm 214(W) × 308(L) × 225(H)
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